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熔融石英晶圆基片
- 生产商:SemiOptics
- 晶圆大小：4”6”8”12”
- 厚度：100um-1mm
- 产品描述：用高纯度氢氧熔化合成制造的紫外级等级熔融石英,为高纯度的 非晶硅氧化硅, OH含量相当高,它在紫外线光,具有优良的透紫 外性能,特别是在短波紫外区,其透过性能远远地胜过所有其他光 学玻璃,另外在可见光,与近红外线光的波长区提供相当好的穿透 性,热膨胀系数同时也非常低.
产品介绍
晶圆尺寸：
4” = Dia. 100mm +/- 0.2mm。
6” = Dia. 150mm +/- 0.2mm。
8” = Dia. 199.7mm 或 Dia. 200mm +/- 0.2mm。
12” = Dia. 300mm +/- 0.2mm 或 +/- 0.05mm。
晶圆厚度：
200 +/- 25um
300 +/- 25um
400 +/- 10um
500 +/- 10um
700 +/- 25um
TTV ：< 15um
Notch 或平边：按 SEMI standard 加工
可客制化加工：方形或异性。
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