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晶圆级封装(室温)
- 产品描述:
产品介绍
超薄玻璃室温气密性晶圆级键合技术
键合材料 BONGING MATERIALS
- 玻璃-玻璃;玻璃-硅;石英-石英;蓝宝石-蓝宝石和透明陶瓷
- Glass-glass; glass-Si;quartz-quartz;sapphire-sapphire and transparent ceramics
- 大多数玻璃((Borofloat 33, D263, ENA1, 石英等)和硅
- Most glass types (Borofloat 33, D263, ENA1, fused silica etc.)and Silicon
材料厚度 MATERIALS THICKNEES
- 顶层晶圆材料厚度:50μm-2mm
- Top wafer material thickness 50μm –2mm
- 底层晶圆材料厚度:最大30mm
- Bottom material thickness: Up to 30 mm
材料大小: MATERIALS SIZE
- 直径:100-200mm
- Diameter:100-200mm
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