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激光玻璃焊接设备
- 制造商:
- 设备应用：生物，LED,MEMS等。
- 产品描述：
产品介绍
产品特点：
- 极其微小的热影响区(HAZ)。
- 很好的焊缝力学性能。
- 气密封装敏感元件。
- 不需要粘合材料。
焊接技术在材料界面完成，焊接过程中不破坏表面或透明层。
Welding of glass on silicon
Welding of glass on glass
产品规格：
|
最大晶圆尺寸 外形尺寸 |
300mm (bigger on request) 1600(l) x 900(w) x 2100(h) |
| X-轴 | |
| 加工范围 | 1000 mm2 |
| 最大加工速度 | 500 mm/s |
| Y-轴 | |
| 加工范围 | 300 mm |
| Resolution | 0.0001 mm |
| Repeatability | +- 0.001 mm |
| Z-轴 | |
| 加工范围 | 150 mm |
| Resolution | 0.00001 mm |
| Repeatability** with auto-focus system | +- 0.003 mm |
| C-轴 | |
| 加工范围 | Unlimited |
| Resolution | 1,24 arc |
| Repeatability | 2,5 arc |
| 控制方式 |
19″ touchscreen with easy to use software, same user-interface for all (machine, laser and camera) |
选项
- Integration to production systems
- Vision system for alignment and for viewing
- Full remote access for service and assistance via secure remote connection
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GINKOOMEMS